Mechanical Gas Flow Sensors based on silicon micromachining

Detta är en avhandling från Stockholm : Signaler, sensorer och system

Författare: Niklas Svedin; Kth.; [2003]

Nyckelord: ;

Sammanfattning:

  Denna avhandling är EVENTUELLT nedladdningsbar som PDF. Kolla denna länk för att se om den går att ladda ner.