Sökning: "remote plasma-enhanced CVD"

Hittade 1 avhandling innehållade orden remote plasma-enhanced CVD.

1. 1. Deposition of high quality thin dielectrics on silicon

   Författare :Lars-Åke Ragnarsson; Chalmers tekniska högskola; []
   Nyckelord :TEKNIK OCH TEKNOLOGIER; ENGINEERING AND TECHNOLOGY; oxynitride; metal-oxide-semiconductor capacitors; RPECVD; silicon dioxide; interfaces; si-SiO2; remote plasma-enhanced CVD; ONO; C-V; nitrided interfaces; SiO2; deposited dielectrics;

   Sammanfattning : .... LÄS MER