Sökning: "bond and etchback SOI"

Hittade 1 avhandling innehållade orden bond and etchback SOI.

1. 1. Properties of buried silicon dioxide layers

   Författare :Per Ericsson; Chalmers tekniska högskola; []
   Nyckelord :TEKNIK OCH TEKNOLOGIER; ENGINEERING AND TECHNOLOGY; BESOI; charge tripping; radiation damage; silicon on insulator; separation by imlanted oxygen; bond and etchback SOI; SIMOX; thermal stress; SOI; charge injection;

   Sammanfattning : .... LÄS MER