Sökning: "X-ray lithography"

Visar resultat 1 - 5 av 16 avhandlingar innehållade orden X-ray lithography.

  1. 1. Nanofabrication of Diffractive Soft X-ray Optics

    Detta är en avhandling från Stockholm : KTH Royal Institute of Technology

    Författare :Magnus Lindblom; KTH.; [2009]
    Nyckelord :NATURVETENSKAP; NATURAL SCIENCES; Nanofabrication; Zone plate; x-ray; diffractive x-ray optics; x-ray microscopy; NATURAL SCIENCES Physics Other physics Optics; NATURVETENSKAP Fysik Övrig fysik Optik; NATURAL SCIENCES Physics; NATURVETENSKAP Fysik;

    Sammanfattning : This thesis summarizes the present status of the nanofabrication of diffractive optics, i.e. zone plates, and test objects for soft x-ray microscopy at KTH. The emphasis is on new and improved fabrication processes for nickel and germanium zone plates. LÄS MER

  2. 2. A new laser-plasma X-ray source for microscopy and lithography

    Detta är en avhandling från Stockholm : KTH Royal Institute of Technology

    Författare :Lars Rymell; Lunds universitet.; Lund University.; [1997]
    Nyckelord :NATURVETENSKAP; NATURAL SCIENCES; X-ray microscopy; X-ray lithography; Atomic and molecular physics; multilayer mirror; Fysicumarkivet A:1997:Rymell; Atom- och molekylärfysik; X-ray source; Laser-produced plasma; liquid droplet; debris-free; water window;

    Sammanfattning : Popular Abstract in Swedish Avhandlingen beskriver en ny typ av kompakt röntgenkälla baserad på ett laser-producerat plasma (LPP). I motsats till konventionella LPP används inte fasta material som strålmål för den fokuserade laserstrålen. I stället används mikroskopiska vätskedroppar eller vätskestrålar. LÄS MER

  3. 3. Compact Liquid-Jet X-Ray Sources

    Detta är en avhandling från Stockholm : Fysik

    Författare :Oscar Hemberg; KTH.; [2004]
    Nyckelord :liquid-jet; x-ray; EUV; plasma; electron beam; source;

    Sammanfattning : This thesis describes the development, characterization andoptimization of compact, high-brightness, liquid-jet-targetx-ray sources. Two different source types have been developedfor different wavelength regions and applications. LÄS MER

  4. 4. Compact Soft X-Ray Microscopy Sources, Optics and Instrumentation

    Detta är en avhandling från Stockholm : KTH

    Författare :Per Takman; KTH.; [2007]
    Nyckelord :NATURVETENSKAP; NATURAL SCIENCES; soft x-ray microscopy; water window; compact; laser plasma; liquid jet; zone plate optics; NATURAL SCIENCES Physics; NATURVETENSKAP Fysik;

    Sammanfattning : This thesis describes the development of a sub-60-nm full-period resolution compact soft x-ray microscope operating in the water-window region (2.3-4.4 nm). Soft x-ray water-window microscopy is a powerful technique for high-resolution imaging of organic materials exploiting the natural contrast mechanism between carbon and oxygen, cf. LÄS MER

  5. 5. Nanofabrication of Zone Plates for Hard X-Ray Free-Electron Lasers

    Detta är en avhandling från Stockholm : KTH Royal Institute of Technology

    Författare :Fredrik Uhlén; KTH.; [2015]
    Nyckelord :NATURVETENSKAP; NATURAL SCIENCES; X-ray optics; Zone plates; Nanofabrication; X-ray free-electron lasers; Physics; Fysik;

    Sammanfattning : This Thesis describes the development of hard X-ray zone plates intended for focusing radiation at X-ray free-electron lasers (XFELs). XFELs provide unprecedented brightness and zone plates which are put in the intense X-ray beam are at risk of being damaged. LÄS MER