Sökning: "Petra Amirfeiz"

Hittade 1 avhandling innehållade orden Petra Amirfeiz.

1. 1. Oxygen plasma assisted silicon wafer bonding

   Författare :Petra Amirfeiz; Chalmers tekniska högskola; []
   Nyckelord :TEKNIK OCH TEKNOLOGIER; ENGINEERING AND TECHNOLOGY; surface energy; diffusion; water; porous silica; oxygen plasma; wafer bonding;

   Sammanfattning : .... LÄS MER