Sökning: "Anke Weinert"

Hittade 1 avhandling innehållade orden Anke Weinert.

1. 1. High resolution displacement measurement of micromechanical structures : the RDGT

   Författare :Anke Weinert; Chalmers tekniska högskola; []
   Nyckelord :TEKNIK OCH TEKNOLOGIER; ENGINEERING AND TECHNOLOGY; FET; capacitive detection; displacement measure; silicon; Resonant double gate transistor; high resolution; RGT; MOSFET; resonant gate transistor; low impedance sensing; RDGT;

   Sammanfattning : .... LÄS MER