Development of Nanoimprint Lithography for Fabrication of Electrochemical Transducers

Sammanfattning: Popular Abstract in Swedish Avhandlingen ger en överblick över dagens status inom nanoimprintlitografi. Teknologin ger möjlighet att framställa nm-strukturer med en upplösning bättre än 10 nm och kan användas för massproduktion av hela wafers. Avhandlingen beskriver utvecklingen av reproducerbara imprintprocesser som t.ex. kan användas för framställning av nm-strukturerade fingerelektroder. Dessa har ett stort användningsområde för tillverkning av framtida (bio-)elektrokemiska sensorer. Processutvecklingen beskriver framställning av imprintstämplar, utvärdering av nya imprintpolymerer, "anti-stick"-behandling med molekylära monolager samt karakterisering av desamma med fotoelektronspektroskopi, utveckling av processer för mönsteröverföring efter tryckningen, deponering av ett molekylärt lager som adhesionsskikt mellan guld och kiseldioxid och utvärdering av fluorescensmikroskopi som verktyg för kvalitetskontroll inom nanoimprintlitografi. Elektrokemidelen i avhandlingen syftar till använding såsom kurslitteratur för biofysikkursen som ges på avdelningen. Initiala mätresultat med nm-strukturerade fingerelektroder redovisas för.