An integrated E-E silicon detector by wafer bonding using cobalt disilicide as a buried common ohmic contact

Författare: Göran Thungström; Mittuniversitetet; []

Nyckelord: ENGINEERING AND TECHNOLOGY; TEKNIK OCH TEKNOLOGIER; detector; Electrical engineering; electronics and photonics; Elektroteknik; elektronik och fotonik;

Sammanfattning:

  Denna avhandling är EVENTUELLT nedladdningsbar som PDF. Kolla denna länk för att se om den går att ladda ner.